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エフオーアイ（ＦＯＩ、6253）が11月20日、東証マザーズに新規上場する。プラズマ技術を応用した半導体製造装置を開発・販売する。

【掲載日　2009/11/17】

●半導体製造装置を開発・販売――プラズマ技術を応用した微細技術で

　ＦＯＩは1994年、半導体製造装置の開発・販売を目的に、神奈川県川崎市で設立された。100ナノメートル（ナノは10億分の１）を下回る単位の加工もできる、プラズマ技術を応用した微細技術を保有。これを利用してＬＳＩ（大規模集積回路）の電子回路を構築する装置を開発した。関連する特許も保有する。2009年９月30日時点の従業員数は196名。

1997年から2000年まで神戸製鋼所（5406）と共同でプラズマ要素技術を開発し、試作機や製品も神戸鋼と共同で開発していた。2000年３月に神戸鋼が半導体事業から撤退したことで、共同開発時に共同で保有していた特許は名義変更を経てＦＯＩの単独保有になった経緯がある。

目論見書によると、東京エレクトロン、米アプライド・マテリアルズ、米ノベラス・システムズなどが同業他社に当たるとしている。

●台湾メーカー向け販売が７割超――販路拡大が課題

　東アジアを拠点とするＤＲＡＭおよびＮＡＮＤ型フラッシュメモリーを製造する東アジアのメーカーが販売先。特に台湾のメーカー向け売上高は、08年３月期に全売上高の85.7％、09年３月期には同76.5％を占めた。メモリー以外の電子装置メーカーなどへの販路拡大は今後の課題になりそうだ。

一方で、足元では半導体メモリーの下落に歯止めがかかり、メーカーの設備稼働率も回復基調にあるという。このためＦＯＩは「今年度後半には一部メーカーにおいては投資が活発になるものと予測」している。

新規上場会社概要

正式名称	エフオーアイ
コード	6253	事業内容	半導体製造装置の製品開発､製造､販売
公 開 日	09/11/20	公開時株式総数	26743300株
公開市場	マザーズ	公募株式数	6750000株
主幹事証券	みずほインベスターズ証券	売出株式数	1350000株
代 表 者	奥村裕

決算データ (連結)

決算期	売上高	経常利益	純利益
09.03 (実 績)	11855百万円	2016百万円	530百万円
10.03 (予 想)	13013百万円	2197百万円	1318百万円